高頻直流高壓發(fā)生器一般分為0.5，1.0，1.5，2.0和3.0共5個(gè)等級(jí)，每一個(gè)等級(jí)對(duì)應(yīng)的允許誤差分別是±0.5，±1.0，±1.5，±2.0，±3.0。

　　二、輸出電壓

　　高頻直流高壓發(fā)生器輸出電壓基本誤差用下式表示：

　　輸出電壓的相對(duì)誤差=【（輸出電壓示值-輸出電壓實(shí)際值）/輸出電壓實(shí)際值】*100%。

　　三、輸出電流

　　高頻直流高壓發(fā)生器輸出電流基本誤差用下式表示：

　　輸出電流的相對(duì)誤差=【（輸出電流示值-輸出電流實(shí)際值）/輸出電流實(shí)際值】*100%。

　　四、輸出電壓持續(xù)時(shí)間

　　輸出電壓持續(xù)時(shí)間設(shè)定示值與實(shí)測(cè)值之差不應(yīng)超過(guò)實(shí)測(cè)值的5%。用下式表示：

　　輸出電壓持續(xù)時(shí)間的相對(duì)誤差=【（輸出電壓持續(xù)時(shí)間的示值-輸出電壓持續(xù)時(shí)間的實(shí)際值）/輸出電壓持續(xù)時(shí)間的實(shí)際值】*100%。

　　五、輸出電壓的紋波

　　高頻直流高壓發(fā)生器輸出電壓的紋波系數(shù)應(yīng)小于5%。用下式表示：

　　輸出電壓的紋波系數(shù)=【輸出電壓的紋波電壓有效值*分壓比/輸出電壓的額定值】*100%。

　　六、短期穩(wěn)定性

　　高頻直流高壓發(fā)生器在開(kāi)機(jī)5min內(nèi)，輸出電壓的漂移值應(yīng)不大于額定輸出電壓值的1%。用下式表示：

　　輸出電壓的漂移值=【（輸出電壓zui大值-輸出電壓zui小值）/輸出電壓額定值】*100%。